台车式光亮退火炉技术参数,江苏方伟炉业有限公司

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台车式光亮退火炉技术参数

发布者：江苏方伟炉业有限公司发布时间：2020-7-27 16:39:01 点击次数：330 关闭

台车式光亮退火炉的燃料也跟着燃料资源的开发和燃料转换技能的进步，而由选用块煤、焦炭、煤粉等固体燃料逐步改用发生炉煤气、城市煤气、天然气、柴油、燃料油等气体和液体燃料，并且研制出了与所用燃料相适应的各种燃烧设备。台车式光亮退火炉是在半导体器材制造中运用的一种工艺，其包含加热多个半导体晶片以影响其电功能。热处理是针对不同的作用而规划的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改动成长的薄膜的状态，修正注入的损害，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。光亮退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。光亮退火炉是由专门为加热半导体晶片而规划的设备完成的。光亮退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

台车式光亮退火炉技术参数：

型号	炉内有效尺寸（㎜）				炉体外形（㎜）			进口高度	回火温度		回火时间范围		电器容量		温度控制			处理线径		回火处理产量	炉体重量
	宽	高	长	宽		高	长	（㎜）		（℃）		（分）		（KW）		NO	Ø㎜		㎏/h			㎏
RJC-160	100	90	600	570		1100	1200	500～600		50～500		5～60		3.5		1	0.1～2.5		10			220
RJC-210	200	90	1000	670		1200	2000	500～600		50～500		5～60		8		1	0.1～2.6		20			300
RJC-310	300	90	1000	770		1200	2000	500～600		50～500		5～60		12		1	0.1～3.2		30			400
RJC-315	300	90	1500	770		1200	2600	500～600		50～500		5～60		16		1	0.1～4		40			500
RJC-320	300	90	2000	770		1200	3300	500～600		50～500		5～60		20		2	0.1～5		50			700
RJC-340	300	130	4000	870		1200	5100	500～600		50～500		5～60		50		3			150			1300
RJC-415	400	90	1500	870		1200	2800	500～600		50～500		5～60		20		2	0.1～5		50			700
RJC-420	400	90	2000	870		1200	3300	500～600		50～500		5～60		26		2	0.5～6		60			1000
RJC-440	400	120	4000	900		1900	6100	700		50～500		10～60		45		3	0.5～6		120			1500
RJC-520	500	120	2000	970		1900	3400	700		50～500		10～60		30		2	0.5～7		90			1200
RJC-525	500	120	2500	970		1900	4500	700		50～500		10～60		35		2	0.5～8		120			1350
RJC-530	500	120	3000	1000		1900	5100	700		50～500		10～60		40		3	0.5～8		140			1500
RJC-540	500	120	4000	1000		1900	6100	700		50～500		10～90		48		3	1.0～10		180			1800
RJC-560	500	150	6000	1000		2000	8100	800		50～500		15～120		66		5	1.0～12		210			3500
RJC-630	600	120	3000	1120		1900	5100	800		50～500		10～90		48		3	1.0～10		180			2000
RJC-640	600	120	4000	1120		1900	6100	800		50～500		10～90		80		3	1.0～10		250			2800
RJC-650	600	130	6000	1120		1900	7100	800		50～500		10～90		7.5		4	1.0～12		230			3200
RJC-660	600	150	6000	1120		2000	8100	800		50～500		15～120		84		5	1.0～13		250			4000
RJC-740	700	120	4000	1220		1900	6100	800		50～500		10～90		65		3	1.0～12		200			3000
RJC-1200	1200	180	5500	1820		1600	8000	800		50～500		10～90		180		3	1.0～20		500			4500
RJC-4100	400	60	10000	990		1900	12000	800		50～600		15～200		120		7	片状		300			4500
RJC-6100	600	60	10000	1120		1900	12000	800		50～600		15～200		150		7	片状		420			5500
TOS-6100	600	60	10000	1120		1950	12000	800		50～600		15～200		170		7	片状		400			6000

台车式光亮退火炉高温退火的作用：

①改善或消除钢铁在铸造、锻压、轧制和焊接过程中所形成的各种安排缺点以及残余应力，防止工件变形、开裂;

②软化工件以便进行切削加工;

③细化晶粒，改善安排以提高工件的机械功能;

④为最终热处理(淬火、回火)作好安排准备。

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