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国内外连续光亮退火炉系统的研究前景

发布者:丹阳方伟炉业有限公司 发布时间:2020-8-25 15:42:33 点击次数:220 关闭

    国内外连续光亮退火炉系统的研究前景,如以美国和德国公司为代表的单点测温技术,以线光源(灯管)为热源的双面加热形式,利用红外辐射加热原理对硅片进行直接加热。美国应用材料公司独特的多点侧降技术,采用点光源(灯泡)和单面加热作为热源。球形灯泡发出的光通过高透过率应时窗进入反应室,加热硅片支撑排列环上的硅片。温度信号检测侧由多个响应时间非常快的红外探头实时检测,产品在加热过程中高速旋转,使得晶片表面与反应气体的接触概率几乎相同。


    连续高温回火的目的是获得回火索氏体或珠光体基组织,并获得良好的综合力学性能。因此,高温回火通常用作淬火和回火工艺,也可用于非淬火状态的零件以消除应力和防止变形,如焊接结构零件以消除焊接应力。高温回火也用作表面淬火返工的中间过程,以消除应力和降低硬度,而不是退火过程。正火后,高温回火通常用于降低硬度和改善可加工性。高温回火也可用作热处理(包括渗碳等)前复杂零件和高合金钢零件的预处理工艺。)。
    产品主要用于烧结和加热其他无机新材料,如锂电池新能源材料、稀土材料、陶瓷材料、耐火材料、磁性材料、电子器件、硬质合金和催化剂。工作温度可低于1750,可根据不同产品的烧结工艺选择使用。它是一种连续工作的节能电炉。与间接箱式炉相比,电窑具有节能、操作方便、热稳定性好、产品合格率高等优点。这是目前中国理想的燃烧设备。

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